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電子制造業(yè)潔凈室的特點分析

    信息來源:http://m.ms9a85t.cn 發(fā)布時間:2015/10/5 20:12:56 點擊數(shù): Tags:
電子制造業(yè)的發(fā)展帶動了潔凈室技術的發(fā)展,同時也因為電子制造技術的進步,對生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高,也給潔凈室的設計提出了更高的要求。電子制造業(yè)潔凈室設計是一項綜合性的技術,只要了解了它的設計特點,才能保證潔凈室的合格,也才能讓電子制造業(yè)的產(chǎn)品次品率更低,從而提高生產(chǎn)效率。
  
  電子制造業(yè)潔凈室的特點:
  
  電子制造業(yè)潔凈室的風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等都要嚴格按照要求來控制,照度和潔凈室截面風速應按照設計或者規(guī)范來控制。此外,電子制造業(yè)潔凈室對靜電、濕度的控制極其嚴格。因為過于干燥的廠房內極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
  
  一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定)。這時可有效地控制靜電,并使人也感覺舒適。
  
  芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。具體規(guī)定為:
  
  1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
  
  2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
  
  3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
  
  4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值:
  
  5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
  
  6、保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
  
  7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。
  
  之后,無塵室的送風量應取下面三項大值:1:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量;2:根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量;3:向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。