air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用
信息來源：http://m.ms9a85t.cn/ 發(fā)布時間：2013/9/30 10:33:59 點擊數(shù)：
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過濾器
相信很多的電腦玩家都知道，電腦中每天都會進無數(shù)灰塵，影響電腦的性能，有的甚至?xí)氯崞�，�?dǎo)致電腦的溫度長時間不下降，所以現(xiàn)在很多人在想如果以后電腦中也裝上過濾除塵器就好了，專業(yè)人員表示粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響壽力空壓機配件產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今，半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對air filter的要求也苛刻。
衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”，即電路上導(dǎo)線的寬度。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,在以微米計算線寬的年代，人們說制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時了,air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風(fēng)柵板。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機的過濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用不論是普通高效過濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應(yīng)該遠離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過濾器上多花點錢就是了。
看完以上的信息，大家對于air filter在微電子的重要性及應(yīng)用都了解吧，值得一提的是在現(xiàn)在大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來源于粘結(jié)劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。
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