半導(dǎo)體工業(yè)空氣過(guò)濾器的必要性

信息來(lái)源：http://m.ms9a85t.cn/ 發(fā)布時(shí)間：2014/2/2 11:08:04 點(diǎn)擊數(shù)： Tags: 過(guò)濾器

當(dāng)今，半導(dǎo)體廠對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈程度非常挑剔，對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也越來(lái)越苛刻，而在半導(dǎo)體廠，半導(dǎo)體廠用空氣過(guò)濾器起著非常重要的作用，是不可缺少的，下面我們就一起來(lái)了解一下。

空氣中海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。

活性炭過(guò)濾器過(guò)濾等級(jí)技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達(dá)到。當(dāng)芯片上的線寬小到0.5mm時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了精密空氣過(guò)濾器。精密空氣過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜，它就是活性炭過(guò)濾器，但傳統(tǒng)的活性炭過(guò)濾器制造廠和軍工廠沒有搭上芯片廠這班車，芯片廠的深圳活性炭過(guò)濾器大都是空調(diào)過(guò)濾器的制造廠家提供的。

化學(xué)污染物的來(lái)源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度，因此，為他們提供的化學(xué)過(guò)濾器至少應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對(duì)什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是普通、便宜的顆�；钚蕴�。如果能確定污染物種類，就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，以幫助用戶確定反滲透過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的有經(jīng)驗(yàn)的人，并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。

半導(dǎo)體工業(yè)并不是人們普遍認(rèn)為的“無(wú)煙工業(yè)”，也就是說(shuō)它也是有環(huán)境問(wèn)題的，稍不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染。因此，為了保險(xiǎn)起見，半導(dǎo)體廠一般都會(huì)使用空氣過(guò)濾器。

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